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研发成功,最小仅90纳米!这一领域我国再获突破
0次浏览 发布时间:2025-03-21 10:01:00记者20日从浙江大学获悉,该校光电科学与工程学院/海宁国际联合学院狄大卫教授和赵保丹研究员团队,成功研发出微米和纳米钙钛矿LED,其降尺寸过程仅造成微弱的性能损耗。其中,最小尺寸仅为90纳米的纳米钙钛矿LED,为迄今为止公开报道的最小LED像素。相关研究论文发表在国际期刊《自然》上。
狄大卫介绍,目前世界最先进的显示技术是基于Ⅲ-Ⅴ族半导体的微型发光二极管,可实现超高清、超高精度的光电显示。但受限于复杂的工艺技术,微型发光二极管制造成本极高,当像素尺寸减小到约10微米或更小时,效率会急剧下降。
从Ⅲ-Ⅴ族半导体的微型发光二极管的微型化研究中获得启发,狄大卫团队开始研制用于未来显示技术的更小的钙钛矿LED,于2021年首次提出“微型钙钛矿LED”概念,并获得国家与国际专利。
用传统光刻工艺制造微型钙钛矿LED会破坏钙钛矿材料。为此,研究团队设计出一套局域接触工艺,通过光刻制作的图案化窗口确保像素区域远离电极边缘,能够制造像素尺寸从数百微米到90纳米的钙钛矿LED,同时保证了LED的发光效率。
据悉,微米和纳米钙钛矿LED在AR/VR显示等领域具有巨大应用潜力。
◎ 科技日报记者 江耘 通讯员 周天宇
来源:科技日报
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