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研发成功，最小仅90纳米！这一领域我国再获突破

0次浏览发布时间：2025-03-21 10:01:00

记者20日从浙江大学获悉，该校光电科学与工程学院/海宁国际联合学院狄大卫教授和赵保丹研究员团队，成功研发出微米和纳米钙钛矿LED，其降尺寸过程仅造成微弱的性能损耗。其中，最小尺寸仅为90纳米的纳米钙钛矿LED，为迄今为止公开报道的最小LED像素。相关研究论文发表在国际期刊《自然》上。

狄大卫介绍，目前世界最先进的显示技术是基于Ⅲ-Ⅴ族半导体的微型发光二极管，可实现超高清、超高精度的光电显示。但受限于复杂的工艺技术，微型发光二极管制造成本极高，当像素尺寸减小到约10微米或更小时，效率会急剧下降。

从Ⅲ-Ⅴ族半导体的微型发光二极管的微型化研究中获得启发，狄大卫团队开始研制用于未来显示技术的更小的钙钛矿LED，于2021年首次提出“微型钙钛矿LED”概念，并获得国家与国际专利。

用传统光刻工艺制造微型钙钛矿LED会破坏钙钛矿材料。为此，研究团队设计出一套局域接触工艺，通过光刻制作的图案化窗口确保像素区域远离电极边缘，能够制造像素尺寸从数百微米到90纳米的钙钛矿LED，同时保证了LED的发光效率。

据悉，微米和纳米钙钛矿LED在AR/VR显示等领域具有巨大应用潜力。

◎ 科技日报记者江耘通讯员周天宇

来源：科技日报